二手半导体设备VEECO K465 MOCVD化学气相沉淀设备(883)

 77    |      2025-08-27 16:43

宝子们!今天来唠二手半导体圈的 “化合物半导体生长大师”——VEECO K465 MOCVD 设备呀~✨ 作为维易科(VEECO)家的经典气相沉积机型,它可是给半导体材料 “搭骨架” 的狠角色,参数萌又能打,新手宝子也能轻松 get 亮点!

首先划重点:它超会 “培育” 化合物半导体!能稳稳 hold 住 200mm(8 英寸)及以下尺寸衬底(像 150mm、100mm 都兼容),不管是

GaN(氮化镓)、GaAs(砷化镓)

,还是 InP(磷化铟)这类 III-V 族材料,都能靠金属有机化学气相沉积(MOCVD)精准 “种” 出高质量薄膜~🧪 不管是做 LED 芯片的发光层、射频器件的外延层,还是功率器件的缓冲层,它都能 “接单”,应用场景广到让人惊喜!

核心参数超亮眼:薄膜厚度均匀性≤2%,组分均匀性≤1%,就像给材料 “铺地毯” 一样平整,后续器件性能超稳定;温度控制精度更是绝,反应室温度波动 ±1℃,相当于自带 “恒温小管家”,材料生长环境稳到犯规~😆 效率也很在线,单炉能处理≥50 片 2 英寸 GaN 衬底(换算成 8 英寸也能高效批量生产),还标配

原位光学监测系统

,像装了 “生长雷达”,实时盯着薄膜生长状态,不跑偏、不 “长歪”,新手上手也不慌!

而且它的反应室设计超耐高压高温,气体管路密封性拉满,二手设备到手后,简单清洁和校准就能恢复 “满血状态”,操作界面也很直观,不用费劲儿学就能上手~🎯 有没有宝子用过这款 “生长小能手” 呀?比如培育 GaN 做 LED,或者生长 GaAs 做射频器件时,它表现怎么样?评论区分享下你的 “材料培育小技巧”,或者想了解它的反应气体配比、日常维护细节,都可以喊我哦~😉

#气相沉积设备#